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激光共聚焦掃描顯微鏡

簡要描述:激光共聚焦掃描顯微鏡通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構,如半導體晶片,FPD產品,MEMS設備,玻璃基板,材料表面等方面擁有解決方案。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-06-04
  • 訪  問  量:4027

詳細介紹

激光共聚焦掃描顯微鏡是一種準確、可靠的三維(3D)掃描系統,通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構,如半導體晶片,FPD產品,MEMS設備,玻璃基板,材料表面等方面擁有*的解決方案。

Features & Benefits(性能及優勢):

高分辨無損傷光學3D測量                               自動傾斜補償

實時共焦成像                                                 簡單的數據分析模式

多種光學變焦                                                 雙Z掃描

大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

實時CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準備

自動聚焦

Application field(應用領域):

NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

可測量微米和亞微米結構的高度,寬度,角度,面積和體積,例如

-半導體:IC圖形,凹凸高度,線圈高度,缺陷檢測,CMP工藝

- FPD產品:觸摸屏屏幕檢測,ITO圖案,LCD柱間距高度

- MEMS器件:結構三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形

-玻璃表面:薄膜太陽能電池,太陽能電池紋理,激光圖案

-材料研究:模具表面檢測,粗糙度,裂紋分析

Specification(激光共聚焦掃描顯微鏡規格):

Model

Microscope  NS-3500

備注

 

Controller    NS-3500E

物鏡倍率

10x

20x

50x

100x

150x

 

觀察/  測量范圍

水平 (H): μm

1400

700

280

140

93

 

垂直 (V): μm

1050

525

210

105

70

 

工作范圍: mm

16.5

3.1

0.54

0.3

0.2

 

數值孔徑(N.A.)

0.30

0.46

0.80

0.95

0.95

 

光學變焦

x1 to x6

 

總放大倍率

178x to 26700x

 

觀察/測量光學系統

針孔共聚焦光學系統

 

高度測量

測量掃描

長掃描 : 10 mm

 

顯示分辨率

0.001 μm

 

重復率 σ

0.010 μm

注 1以100×/ 0.95物鏡對標準樣品(步長1μm)進行100次測量。

寬度測量

顯示分辨率

0.001 μm

 

重復率 3σ

0.02 μm

注 2 :以100×/ 0.95物鏡對標準樣品(5μm間距)進行100次測量

幀記憶

像素

1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96

 

單色圖像

12 bit

 

彩色圖像

8-bit for RGB each

 

高度測量

16 bit

 

幀速率

表面掃描

20 Hz to 160 Hz

 

線掃描

~8 kHz

 

自動功能

自動增益

 

激光共焦測量光源

波長

405nm

 

輸出

~2mW

 

激光等級

Class 3b

 

激光接收元件

PMT (光電倍增管)

 

光學觀察光源

10W LED

 

光學觀察照相機

成像元件

1/2” 彩色圖像 CCD 傳感器

 

記錄分辨率

640x480

 

自動調整

增益, 快門速度, White balance

 

數據處理單元

PC

 

電源

電源電壓

100 to 240 VAC, 50/60 Hz

 

電流消耗

500 VA max.

 

重量

顯微鏡

Approx. ~200 kg

(Measuring head unit : ~12 kg)

 

控制器

~8 kg

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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