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TESCAN GAIA3電鏡系統
TESCAN GAIA3電鏡系統*的集成了超高分辨率的電子光學系統和高性能的離子束系統,二者配置于同一樣品室上。GAIA3電鏡以MAIA3場發射掃描電鏡為平臺,在保留MAIA3*性能的基礎上,增加了使用聚焦離子束進行樣品表面處理的功能。GAIA3具有創新性的場發射電鏡設計,低電壓下仍具有出色的分辨率,大大提高了其成像能力。與一般電鏡的電磁物鏡相比,GAIA3具有較窄小的電磁物鏡,同時InBeam-SE探頭和InBeam-BSE探頭的位置都位于透鏡內,這些設計都為FIB及其他分析設備提供了充足空間,使之能夠在樣品表面完成多項工作。
GAIA3的突出特點
·單極60°電磁物鏡設計,的SEM分辨率
·*的多種成像模式—大視場模式,分辨率模式以及景深模式—這些功能都基于TESCAN*的大視場光學系統設計
·馬達控制的精準樣品臺,可進行精確的移動或傾轉操作
·Field-free模式下可對磁性樣品進行有效觀察
·高達200nA的束流強度
·停留時間低至20ns的快速電子束刻蝕速度
·FIB的Cobra光學系統,確保聚焦離子束*的分辨率和優異的性能,離子束流為1pA到50nA
·強大的DrawBeam軟件包,包含許多可編程設計模塊(基礎版和高級版)來實現掃描及制樣等過程中可調參數的多樣化
·不僅具有對樣品表面進行修飾和觀察的多種功能,*的空間設計還能夠使電鏡通過接口兼容多種探測設備與技術手段,且還能保持*的分析工作距離
GAIA3的功能特點
對納米尺度物質的成像分析及控制,是當今順利開展研究工作的關鍵,這要求前沿的技術手段具有分辨率、準確度、可重復性、穩定性以及靈活性等多方面的優異性能。
在前幾代電鏡系統的成功基礎上,TESCAN推出了GAIA3新一代電鏡系統。它保持了SEM的納米級分辨率特征,同時還集成了*的COBRA-FIB聚焦離子束功能,使新一代GAIA3電鏡擁有更加多元化的分析設備兼容性,提高了分析范圍和分析能力。
GAIA3的一個突出優點在于它低電壓下的掃描電子成像功能,分辨率很高。這對于研究電子敏感材料或是導電性差的樣品極為重要,低電壓可以降低電子與材料相互作用,從而保證好的分辨率同時還能獲得好的低電壓襯度。
COBRA-FIB聚焦離子束系統是一項*技術,不論成像拍照還是樣品微觀加工,都能保持很高的尺寸分辨率,是納米工程領域*的FIB設備。
系統靈活性與工具多樣性
TESCAN致力于為科研人員提供操作便捷、結果可靠、系統穩定的解決方案與技術手段。TESCAN設備*的用戶分級設計能夠滿足所有操作者的需求,無論你是應用專家,還是偶爾操作人員(只需要通過簡單操作便可獲得出色的實驗結果)。應用專家模式是為長期使用TESCAN電鏡系統,能夠充分了解和發揮電鏡靈活性和擴展功能的熟練操作人員設計。TESCAN電鏡系統將眾多功能特點整合于*的交互界面,方便快速完成SEM和FIB各種工作模式與功能的觀察條件設置。
使用GAIA3電鏡可以輕松獲得的圖像質量與襯度,尤其是其*的低電壓拍照功能。當然,二次電子(SE)與背散射電子(BSE)拍照模式在高電壓與低電壓條件下均可使用,獲得高質量樣品照片。
GAIA3還配備了*的自由伸縮式STEM探頭,使用FIB制得TEM薄片樣品后可直接進行電鏡觀察。另外,在FIB與SEM雙束電鏡上安裝飛行時間-二次離子質譜儀(TOF-SIMS),一方面能夠提高質譜敏感性,另一方面使用FIB對樣品表面連續進行連續切割,可獲得樣品質量分布的三維分布圖。
GAIA軟件與自動化操作系統
TESCAN的用戶友好型軟件、許多自動化程序、遠程控制系統及腳本庫都致力于幫助用戶獲得出色的結果,得到業界與用戶的*認可。GAIA3更是為經驗豐富的用戶提供了專家級系統設置的訪問權,使用戶能夠根據自身需求進行觀察條件的*化設置。GAIA3擁有多用戶使用環境、模塊化軟件設計、網絡操作控制以及眾多的擴展功能,是一款靈活全面的電鏡設備。
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袁文軍 +86-21-31255909 +86-21- :yuanwenjun@sunano.com.cn
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