拉曼電鏡聯(lián)用系統(tǒng)出現(xiàn)帶來(lái)行業(yè)全新變革，它通過(guò)方便、高性能的拉曼分析，彌補(bǔ)了傳統(tǒng)電鏡和能譜分析能力的不足。尤其是針對(duì)有機(jī)結(jié)構(gòu)解析、碳結(jié)構(gòu)解析、無(wú)機(jī)相鑒定、同分異構(gòu)分析、結(jié)晶度分析等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了重大突破，擴(kuò)展了掃描電鏡的分析應(yīng)用領(lǐng)域，能夠全面分析，應(yīng)用前途一片光明。

　　其實(shí)，電鏡-拉曼的聯(lián)用概念并不新鮮，早在十年多前，就有拉曼廠商開(kāi)始在掃描電鏡上安裝拉曼光譜儀，實(shí)現(xiàn)初步聯(lián)用。不過(guò)由于技術(shù)和適用性的限制，拉曼聯(lián)用技術(shù)未能獲得成功，在電鏡上配備拉曼聯(lián)用的*，甚至很多人都未知曉SEM和拉曼的聯(lián)用，究其根本原因，還在于傳統(tǒng)的拉曼聯(lián)用技術(shù)有著非常嚴(yán)重的技術(shù)障礙。
 

　　拉曼電鏡聯(lián)用系統(tǒng)有別于傳統(tǒng)的聯(lián)用系統(tǒng)，它并不是簡(jiǎn)單的將兩個(gè)獨(dú)立的儀器拼湊到一起，要使得它具有較高的實(shí)用性，需要對(duì)原來(lái)各自的儀器的硬件和軟件都進(jìn)行改進(jìn)和新的設(shè)計(jì)。原先系統(tǒng)的共軸式設(shè)計(jì)有太多的缺點(diǎn)，很難在實(shí)用性上達(dá)到令人滿意的要求，所以在設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)全新的拉曼電鏡聯(lián)用系統(tǒng)時(shí)摒棄了共軸式設(shè)計(jì)的方案，而采用了平行軸式設(shè)計(jì)，即電子束和激光束不重合，而是兩者相平行。

　　這樣做首先不影響電鏡各種探測(cè)器工作的需要，而拉曼也保留了包括物鏡在內(nèi)的全部光學(xué)裝置，這樣和普通獨(dú)立的拉曼在硬件上保持一致，也保證了拉曼信號(hào)的采集效果。特殊的樣品臺(tái)負(fù)責(zé)試樣在電子束下和激光束下的切換傳輸。該樣品臺(tái)定位極其精準(zhǔn)，可以確保試樣能夠在兩個(gè)分析束下的精準(zhǔn)定位。此外，為了確保電子束和拉曼激光束的重合，還專門(mén)開(kāi)發(fā)了相關(guān)校準(zhǔn)技術(shù)。